作者：葛川，李朋志，章明朝，闫丰　　根据压电陶瓷微偏移器对驱动电源的市场需求，设计了压电驱动电源系统的方案。该方案再行讲解了电源系统中的数字电路部分和仿真电路部分，并对驱动电源的精度与稳定性展开了分析与改良。最后对驱动电源的性能展开了实验检验。

实验结果表明：该设计方案的电源输入电压噪声高于0.43mV、输入仅次于非线性误差高于0.024%、分辨率平均1.44mV,需要符合高分辨率微偏移定位系统中静态定位掌控的市场需求。　　0章节　　压电陶瓷驱动器（PZT）是微偏移平台的核心，其主要原理是利用压电陶瓷的逆压电效应产生应力，从而驱动继续执行元件再次发生微偏移。

压电陶瓷驱动器具备分辨率低、号召频率慢、发动机大和体积小等优点，在航空航天、机器人、微机电系统、仪器加工以及生物工程等领域中获得了普遍的应用于。然而压电陶瓷驱动器的应用于必不可少性能较好的压电陶瓷驱动电源。

要构建纳米级定位的应用于，压电陶瓷驱动电源的输入电压必须在一定范围内倒数固定式，同时电压分辨率必须超过毫伏级。因此压电陶瓷驱动电源技术已沦为压电微偏移平台中的关键技术。

　　1压电驱动电源的系统结构　　1.1压电驱动电源的分类　　随着压电陶瓷微偏移定位技术的发展，各种专用于压电陶瓷微偏移机构的驱动电源应运而生。目前驱动电源的形式主要有电荷掌控式和直流缩放式两种。电荷掌控式驱动电源不存在零点飘移，低频特性劣的特点容许其应用于。而直流缩放式驱动电源具备静态性能好、集成度低、结构非常简单等特点，因而本文的设计原理使用直流缩放式压电驱动电源。

直流缩放式电源的原理如图1右图。　　1.2直流缩放式压电驱动电源的系统结构　　驱动电源电路主要由微处理器、D/A切换电路和线性缩放电路构成。通过微处理器掌控D/A产生高精度、倒数固定式的直流电力（0~10V），通过缩放电路对D/A输入的直流电力做到线性缩放和功率放大从而掌控PZT驱动仪器定位平台。

　　该设计中使用LPC2131作为微处理器，用作产生掌控信号及波形；使用18位电压输入DA芯片AD5781作为D/A切换电路的主芯片，产生倒数固定式的直流高压信号；使用APEX公司的功率放大器PA78作为功率放大器件，输入0~100V的高压信号从而驱动PZT.为构建高分辨率压电驱动器的应用于，压电驱动电源分辨率的设计指标超过1mV量级。

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